个人简介：
李志松，男，1986年6月生，汉族，博士，副教授，现任上海电机学院机械学院教师。曾获中国发明协会创新奖二等奖（2项），中国产学研合作创新成果奖，2023年中国商业联合会科技奖二等奖。参与完成国家市自然科学基金项目2项，上海市自然科学基金项目2项，主持横向项目30余项。发表工程背景学术论文30余篇，其中SCI论文20余篇，Top期刊2篇，申请发明专利20余项，科学出版社专著1部。
研究方向：
光电检测、光学计量、IC检测。
代表性成果：
（1）开发了多表面激光干涉量测设备
（2）开发了动态环境激光干涉量测设备
（3）实现了IC前道工艺平坦度量测设备国产替代
应用企业与特色：
致力于半导体前道工艺量测关键技术及装备的研发、革新；实现了半导体衬底几何参数、三维轮廓（Warp、Bow等）颗粒度、缺陷等在线、自动化、同步测量；与法博思半导体、南京茂莱等校企协同共建科研平台，科研团队科研成果输出超1000万元，专利技术成果作价2000万元，合作企业新增相关技术产值1.5亿元；实现了高性能形貌检测设备国产替代，推动我国了半导体产业链的优化与升级。
联系方式：
lizs@sdju.edu.cn